四軌道在線式真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品介紹：

四軌道在線式等離子清洗機(jī)主要針對(duì)集成電路IC封裝，LED支架清洗工藝，自動(dòng)將料盒里的引線框架取出并進(jìn)行等離子清洗，去除材料表面污染，提高表面活性，再自動(dòng)放回料盒，全程無(wú)人為干擾。

工作流程：

1）將裝滿引線框架的4個(gè)料盒放置在置取料平臺(tái)上，推料機(jī)構(gòu)將第一層料片推出至上下料傳輸系統(tǒng)。

2）上下料傳輸系統(tǒng)通過(guò)壓輪及皮帶傳輸將料片傳輸?shù)轿锪辖粨Q平臺(tái)的高臺(tái)上，通過(guò)撥料系統(tǒng)進(jìn)行定位。

3）接好料片的平臺(tái)交換至等離子反應(yīng)腔室下方，通過(guò)提升系統(tǒng)將真空腔室閉合抽進(jìn)行等離子清洗。當(dāng)高臺(tái)傳輸?shù)角逑次粫r(shí)，低臺(tái)傳輸?shù)浇恿衔恢眠M(jìn)行第二層的接料。高臺(tái)清洗結(jié)束后與低臺(tái)交換位置，低臺(tái)進(jìn)行等離子清洗，高臺(tái)到接料位置進(jìn)行回料。

4）物料交換平臺(tái)上的料片由撥料系統(tǒng)撥到上下料傳輸系統(tǒng)上,通過(guò)壓輪和皮帶傳回料盒，完成一個(gè)流程。推料機(jī)構(gòu)推下一層料片，進(jìn)行下一個(gè)流程。

上下料系統(tǒng)：料盒放置在上料臺(tái)上，自動(dòng)運(yùn)動(dòng)至料盒夾中， 通過(guò)料盒夾取機(jī)構(gòu)將料盒夾至工作位，料片推桿機(jī)構(gòu)將料片推 至過(guò)渡橋上后，通過(guò)料片夾將料片夾至反應(yīng)倉(cāng)、移動(dòng)倉(cāng)底，下料 時(shí)再通過(guò)相反過(guò)程，將料片送回至料盒，即料盒對(duì)料盒的模式， 避免人工接觸。 推料及夾取料片均采用光纖傳感器進(jìn)行檢測(cè)，避 免空流程及卡料。

四軌道在線式真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

針對(duì)LED，IC封裝工序設(shè)計(jì)，可先擇同時(shí)清洗4種不同寬度的產(chǎn)品；

軌道條數(shù)可以增加減少，或者根據(jù)材料寬度大小可靈活設(shè)計(jì)；

片式清洗，清洗效果更明顯，更徹底；單邊上下料結(jié)構(gòu)，無(wú)需更換料盒，清洗后的產(chǎn)品自動(dòng)回到原來(lái)的料盒， 杜絕混批；

高度自動(dòng)化作業(yè)，配備自動(dòng)上片，傳輸，清洗，收片等功能，減少人員干預(yù)，降低二次污染風(fēng)險(xiǎn)。雙清洗托盤，一個(gè)清洗的同時(shí)另一個(gè)備料，提高生產(chǎn)效率；

 一鍵更換產(chǎn)品，設(shè)備所有參數(shù)及設(shè)置自動(dòng)加載，無(wú)需人工設(shè)定；

手動(dòng)清洗與自動(dòng)清洗均一鍵操作，操作使用更簡(jiǎn)單；

產(chǎn)品安全多重設(shè)計(jì)，確保人身安全，確保不會(huì)造成產(chǎn)品變形損壞；

模塊化設(shè)計(jì)，國(guó)際品牌配置，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。

模塊化設(shè)計(jì)，組件更換靈活，切換產(chǎn)品快速，運(yùn)行過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)控，動(dòng)畫指示工作過(guò)程，一目了然，設(shè)備操作權(quán)限分級(jí)管理，便于管控。

采用13.56MHZ電源，清洗時(shí)間短，無(wú)濺射，溫度低。

4條通道每個(gè)地方獨(dú)立檢測(cè)，準(zhǔn)確判斷問(wèn)題所在，生產(chǎn)過(guò)程可管控，故障報(bào)警可追索，有提示，快速排查故障部位，便于維護(hù)。

隨著在線式等離子清洗機(jī)及工藝在IC封裝領(lǐng)域內(nèi)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，并以其優(yōu)良的工藝性能促進(jìn)了微電子行業(yè)技術(shù)的快速發(fā)展，成為21世紀(jì)IC封裝領(lǐng)域內(nèi)關(guān)鍵生產(chǎn)裝置，成為提高產(chǎn)品可靠性和成品率的重要手段，是生產(chǎn)中不可缺少的步驟。伴隨著現(xiàn)代高科技的需要，在線式等離子清洗技術(shù)將不斷發(fā)展技術(shù)水平和應(yīng)用范圍，推廣到LED封裝及LCD行業(yè)趨勢(shì)勢(shì)在必行，展望未來(lái)，在線式等離子清洗技術(shù)的發(fā)展前景是無(wú)限美好的。